擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規避了湍流產生,對工藝室環境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?啥ㄖ苹O計,靈活適應各類安裝空間。
工藝氣體專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規避了湍流產生,對工藝室環境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?啥ㄖ苹O計,靈活適應各類安裝空間。
墊圈式設計確保易于安裝,使其成為 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分。
墊圈式設計確保易于安裝,使其成為 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分。
墊圈式設計確保易于安裝,使其成為 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護敏感氣體成分。
OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設計,過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒,在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。
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