超純氣流高流量一體式過(guò)濾器

簡(jiǎn)要描述：工藝氣體專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過(guò)濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對(duì)工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類(lèi)安裝空間。

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廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2024-11-11
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燒結(jié)不銹鋼濾芯

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詳細(xì)介紹

用于半導(dǎo)體應(yīng)用的高純半導(dǎo)體工藝氣體過(guò)濾器

產(chǎn)品介紹

工藝氣體專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過(guò)濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對(duì)工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類(lèi)安裝空間。

產(chǎn)品特點(diǎn)

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

?100%完整性測(cè)試通過(guò)

?100%氦氣泄露檢測(cè)通過(guò)

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微粒混入，幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)