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恒歌半導(dǎo)體工藝氣體IGS面板專用過(guò)濾器

簡(jiǎn)要描述:IGS面板氣體過(guò)濾器,專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì),過(guò)濾精度高達(dá)0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒,在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過(guò)濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-11-11
  • 訪  問(wèn)  量:241

詳細(xì)介紹


用于半導(dǎo)體應(yīng)用IGS面板專用過(guò)濾器

產(chǎn)品介紹

IGS面板專用過(guò)濾器,用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī) 格,實(shí)現(xiàn)0.003μm級(jí)高效顆粒過(guò)濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升 級(jí)無(wú)憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的 表面安裝元件,便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計(jì)升級(jí),安裝維護(hù)便捷高效。

產(chǎn)品特點(diǎn)

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

?100%完整性測(cè)試通過(guò)

?100%氦氣泄露檢測(cè)通過(guò)

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微粒混入,幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)




恒歌半導(dǎo)體工藝氣體IGS面板專用過(guò)濾器

















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