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墊圈式設計確保易于安裝，使其成為 MFC（質量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒，在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒，在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

大流量氣體過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003μm，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態環境下的理想過濾解決方案

墊圈式設計確保易于安裝，使其成為 MFC（質量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。

大流量氣體過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003μm，滿足超高純工藝需求。整體金屬構造，是高溫動態環境下的理想過濾解決方案